主要特点：
1.计算机控制、CRT数字显示，可打印输出。
2.标准测尺为高精度的接触式测量光栅精度：0.0005mm。
3.满足4英寸硅片测试的高精度测试平台。
4.测试时测头与硅片间接触力可控，接触力不得大于30gf。
