HB53-FS系列高精度硅片腐蚀装置
HB53-FS系列高精度硅片腐蚀装置
 

                      

           主要特点:

           1.采用开放的计算机专家系统控制腐蚀状态和参数。

           2.动态喷淋方式完成腐蚀全过程。

           3.具有腐蚀过程温度、状态全程监控功能。

           4.满足多种条件的高精度KOH湿法腐蚀需求。

           5.工程机与PLC完美组合全程控制腐蚀过程。

 

 
详细信息请到[下载中心]下载