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芯片制备技术
来源:|日期:2006-10-19 11:08:25|点击:

力敏元件很重要的一部分制造工艺是采用硅平面工艺实现的。力敏元件的芯片就是采用平面工艺制造的。比如制作压阻式压力传感器的惠斯登电桥、硅电容压力传感器电容极板。我室平面工艺的主要采用:氧化、扩散、光刻、淀积、电极制备、磷钝化等工艺完成芯片的制备。

 
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