分中心和研究所
- 分类:科技创新
- 发布时间:2020-06-15 00:00:00
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“硅基压力敏感芯片线”
国内具有自主可控的硅基压力敏感芯片线。生产能力两百万片/年,制造工序都分布在净化工作间,最高净化级别为100级。拥有双面光刻机、离子注入机、高温氧化设备、静电封接机、引线键合机、磁控溅射台、去胶机等一批关键工艺设备。
“精密光学薄膜芯片线”
国内领先,自主可控的生物医学应用滤光器件产品线,具有研发及芯片30万片/年、光电器件百万件/年的生产能力。净化级别万级,局部百级。光学薄膜光谱范围200-300nm,最多膜层数300层。拥有等离子反映溅射光学镀膜机,分光光度计超神清洗机等关键设备30多台套。
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