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重点研究方向
- 分类：研究方向
- 发布时间：2020-10-10 12:54:38
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概要:
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力、热、光、磁传感器相关技术研究。
中心瞄准重大技术装备、工业过程控制、生命科学与生物医学等领域的中高端应用需求，构建力、热、光、 磁传感器 “芯片-器件-传感器-集成应用”全链条技术能力体系，打通 “基础研究（高校合作）— 工艺开发（共建单位协同）— 工程化验证（自有产线）— 产业化应用（龙头企业配套）” 创新链，突破从核心芯片设计到系统集成的全流程关键技术。已形成五大具有自主知识产权的核心技术集群：
1.高性能硅基压力敏感芯片及传感器工程化技术
2.高精度高可靠温度传感器工程化技术
3.高精密光学传感器纳米薄膜芯片及器件工程化技术
4.高分辨率磁成像芯片与集成式磁电复合传感器技术
5.半导体专用工艺装备及智能检测仪器技术
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