高端装备用硅基压力传感器关键技术研究与应用项目通过科技成果鉴定

分类：新闻中心
发布时间：2022-04-01 09:39
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2022年3月25日，中国机械工业联合会通过网络视频组织召开了项目科技成果鉴定会，由传感器国家工程研究中心承担的“高端装备用硅基压力传感器关键技术研究与应用”项目顺利通过科技成果鉴定。中心依托建设单位沈阳仪表院董事长、党委书记曾艳丽出席会议，并对鉴定委员会各位专家百忙之中应邀参加会议表示欢迎。

项目情况

会议邀请了中国工程院蒋庄德院士担任鉴定委员会主任。专家组认真听取了项目技术工作总结报告，审查了相关文件资料。该项目通过技术创新和工艺技术攻关，突出解决了高端装备用高性能硅基压力传感器的芯片设计、制备工艺技术优化、稳定性可靠性提升等关键技术难题，实现了硅基压力传感器的自主设计、加工制造和工程化应用，相关技术产品在航空、航天、兵器、船舶、工业控制等领域得到广泛应用，用户使用反映良好，经济效益和社会效益显著。

鉴定结论

经过质询和讨论，鉴定委员会认为：该项目技术难度大，创新性强，大幅提升了高端装备用硅基压力传感器及其关键核心元器件工程化水平和产业化能力，自主研制的传感器及敏感芯片的国产化率达到百分之百，部分实现了高端装备用硅基压力传感器进口替代，实现了自主可控，促进了仪器仪表与传感器行业的技术进步。项目总体技术达到国际先进水平，部分技术指标达到国际领先水平。同意通过科技成果鉴定。