科技成果
完成科技攻关项目近2000项,创造了近百项国内第一的产品,取得近500项专利技术与核心技术,获得科技奖励400余项,其中国家级发明奖和科技进步奖11项,省部级奖项100余项。
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发明专利证书
发明专利证书 -
发明专利证书
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21英寸IC专用芯片划片工艺装备研制
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中国机械工业集团科学技术奖
中国机械工业集团科学技术奖 -
中国机械工业集团科学技术奖
中国机械工业集团科学技术奖 -
辽宁省优秀新产品奖励
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